半導體是指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。我們?nèi)粘Ｉ钪械碾娮赢a(chǎn)品，如計算機、移動電話等當中的核心單元都和半導體有著極為密切的聯(lián)系。
在半導體制造的多個工藝環(huán)節(jié)中，包括刻蝕、鍍膜等等。為了提高半導體制造過程的精度和均勻性，半導體工藝必須在極度受控的真空環(huán)境中運行。而獲得真空環(huán)境所需的設備即為真空泵。
今天要給大家介紹的是安川變頻器產(chǎn)品在真空泵設備中的應用。
半導體用干式真空泵設備
半導體成膜工藝
半導體用真空泵一般容易存在啟動、加速響應慢，抽速不夠穩(wěn)定；運行效率不高；開放大氣時易發(fā)生過載、過流故障而停機；面對雷雨季節(jié)及供電環(huán)境不好時，易因瞬時停電或電壓暫降而造成真空泵停機，造成半導體生產(chǎn)損失。
安川變頻器在國內(nèi)外的真空泵設備上廣泛應用，業(yè)內(nèi)知名度高。能夠使半導體用真空泵在不同的半導體工藝下，穩(wěn)定、高效運行，滿足客戶需求。
以上是關于真空泵行業(yè)的案例介紹。除此之外，安川也會根據(jù)客戶的需求提供定制化的方案與服務，敬請期待。
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